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潔凈厭氧高溫氣氛爐

產(chǎn)品特點(diǎn):潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點(diǎn)
最高工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性,采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

更新時(shí)間:2023-05-18

產(chǎn)品型號(hào):DTN430C/630C/450C/650C

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品詳情
潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點(diǎn)
  • 最高工作溫度360℃和500℃。

  • 采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

  • 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2 消耗量極低。

  • 磁密封保持高氣密性,采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

  • 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

  • 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對氣體進(jìn)行冷卻回收。

安全性
  • 門檢測開關(guān)

  • 溫度過升防止器

  • 氧濃度異常安全裝置

  • 氮?dú)鈮毫z測

  • 氮?dú)饬髁繖z測

  • 冷卻水流量檢測

  • 漏水傳感器

  • 過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)

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